多項選擇題?關于氧化速率下面哪種描述是正確的?()
A.有雜質(如Na、P等)存在,氧化速率降低
B.生長十幾nm厚的柵氧化層時,服從線性氧化速率
C.溫度升高氧化速率迅速增加
D.(111)硅比(100)硅氧化得快
A.有雜質(如Na、P等)存在,氧化速率降低
B.生長十幾nm厚的柵氧化層時,服從線性氧化速率
C.溫度升高氧化速率迅速增加
D.(111)硅比(100)硅氧化得快