單項選擇題直拉法生長單晶硅拉晶過程有幾個主要階段?()

A、3
B、5
C、4
D、2


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2.單項選擇題如何從石英砂制取硅?說明從石英到單晶硅的工藝的簡要框圖正確的是()

A、加料—→熔化—→縮頸生長—→放肩生長—→等徑生長—→尾部生長
B、加料—→熔化—→縮頸生長—→放肩生長—→尾部生長—→等徑生長
C、加料—→縮頸生長—→熔化—→放肩生長—→尾部生長—→等徑生長
D、加料—→放肩生長—→縮頸生長—→熔化—→尾部生長—→等徑生長

3.單項選擇題關于晶體下列說法錯誤的是()

A.調整晶體生長的熱系統(tǒng),使熱場的徑向溫度梯度增大
B.調節(jié)拉晶的運行參數,例如對于凸向熔體的界面加快拉速,增加其凝固速度增加利用結晶潛熱使界面趨于平坦
C.調整晶體或者坩堝的轉速,調整高溫液流的增減
D.增大坩堝內徑與晶體直徑的比值

4.單項選擇題硅片制備主要工藝流程是()

A.單晶生長→整形→切片→晶片研磨及磨邊→蝕刻→拋光→硅片檢測→打包
B.單晶生長→切片→整形→晶片研磨及磨邊→蝕刻→拋光→硅片檢測→打包
C.單晶生長→整形→切片→蝕刻→晶片研磨及磨邊→拋光→硅片檢測→打包
D.單晶生長→整形→切片→晶片研磨及磨邊→拋光→蝕刻→硅片檢測→打包

5.單項選擇題半導體硅工業(yè)產品不包括()①多晶硅②單晶硅③外延片④非晶硅

A.①②④
B.①②③④
C.②③④
D.③④