填空題擴(kuò)散的目的是為了實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體摻雜,雜質(zhì)擴(kuò)散的深度與()有關(guān),服從()。雜質(zhì)擴(kuò)散通常分為等表面濃度擴(kuò)散,也(),和固定雜質(zhì)總量擴(kuò)散,也稱(chēng)()。預(yù)淀積的分布是()函數(shù),再分布擴(kuò)散的雜質(zhì)呈()函數(shù)分布。
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