碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

如下哪個選項不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物？（）

刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。

硅暴露在空氣中，在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層，厚度約為（）。

三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）

互連工藝中AL的制備可選用（）。

CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。