問(wèn)答題當(dāng)分辨率增加時(shí)焦深會(huì)發(fā)生什么變化?
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CMP的設(shè)備構(gòu)成包括()。
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IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是()。
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當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會(huì)形成連續(xù)的非晶層,開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
消除鳥嘴效應(yīng)的方法有()。
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下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子?()
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厚膜電阻的成分,一是導(dǎo)體顆粒,二是()。
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光刻工藝的設(shè)備核心是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
新的平坦化方法有哪幾個(gè)?()
題型:多項(xiàng)選擇題
濕氧氧化采用的氧化水溫是()。
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題