下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

光刻工藝對準誤差包括（）。

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）

摻雜后，退火的目的是（）。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）

CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。