問(wèn)答題列出按材料分類(lèi)的三種主要干法刻蝕。
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1.問(wèn)答題刻蝕的目的是什么?
2.問(wèn)答題列舉下一代光刻技術(shù)中4種正在研發(fā)的光刻技術(shù)。
3.問(wèn)答題光學(xué)光刻技術(shù)的改進(jìn)有哪些方面?
4.問(wèn)答題為什么要進(jìn)行顯影后檢查?
5.問(wèn)答題解釋光刻膠選擇比,要求的比例是高還是低?
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消除鳥(niǎo)嘴效應(yīng)的方法有()。
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進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是()。
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下面哪道工序主要是針對(duì)晶圓切割之后在顯微鏡下進(jìn)行晶圓r的外觀檢查,是否有出現(xiàn)廢品?()
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