注入損傷與注入離子的以下哪個(gè)參數(shù)無(wú)關(guān)？（）

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個(gè)？（）

新的平坦化方法有哪幾個(gè)？（）

互連工藝中AL的制備可選用（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

刻蝕過(guò)程中聚合物形成的來(lái)源有（）。

刻蝕工藝可以和以下哪個(gè)工藝結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會(huì)形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。