單項選擇題在超大規(guī)模集成電路工藝中,一般只采用()。

A.負膠
B.正膠
C.光刻膠


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2.單項選擇題

晶圓加工的基本流程順序為()。
(1)切片
(2)外形整理
(3)研磨
(4)倒角
(5)清洗
(6)拋光

A.(1)(2)(3)(4)(5)(6)
B.(2)(1)(4)(3)(6)(5)
C.(1)(2)(4)(3)(5)(6)
D.(2)(1)(3)(4)(6)(5)

3.單項選擇題下面哪種方式也稱為濕法去膠?()

A.等離子去膠
B.溶劑去膠
C.氧化去膠
D.三氯乙烯去膠

4.單項選擇題

下圖屬于什么光刻機?()

A.接觸式光刻機
B.步進掃描光刻機
C.分布重復光刻機
D.接近式光刻機

5.單項選擇題對于0.25um及以下的隔離技術采用以下()方式。

A.局部氧化隔離
B.PN結隔離
C.PN結-介質隔離
D.淺槽隔離