碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

摻雜后，退火的目的是（）。

光刻工藝對準誤差包括（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

互連工藝中AL的制備可選用（）。

當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

影響封裝芯片特性的溫度有（）。

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

如下哪個選項不是半導體器件制備過程中的主要污染物？（）