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        問答題簡述外延的漂移規(guī)律
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        3.問答題簡述硅氣相外延的過程?
        參考答案:

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        質(zhì)量輸運過程--反應(yīng)劑輸運到襯底表面
        表面反應(yīng)過程--在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)釋放出硅原子

        4.問答題簡述外延的分類?
        參考答案:

        5.問答題什么叫做外延?外延有哪些特點?
        參考答案:①定義:在單晶襯底上新生一層單晶膜的技術(shù)。
        以氣相外延為例,則是含外延層材料的物質(zhì)以氣相形式流向襯底,在高溫下...
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