在氣相外延生長過程中,有兩步: 質(zhì)量輸運過程--反應(yīng)劑輸運到襯底表面 表面反應(yīng)過程--在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)釋放出硅原子
最新試題
光刻工藝對準誤差包括()。
摻雜后,退火的目的是()。
新的平坦化方法有哪幾個?()
如下哪個選項不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物?()
厚膜電阻的成分,一是導(dǎo)體顆粒,二是()。
多層陶瓷基板多層化的方法包括()。
光刻工藝的設(shè)備核心是()。
進行溝槽填充常用的金屬材料是()。
封裝工藝中,銀漿固化的溫度為()。
CMP的設(shè)備構(gòu)成包括()。