微電子學(xué)章節(jié)練習(xí)(2019.11.15)
來源:考試資料網(wǎng)2.問答題什么叫做光刻,光刻有何目的?
參考答案:定義:光刻是圖形復(fù)印與腐蝕作用相結(jié)合,在晶片表面薄膜上制備圖形的精密表面工藝技術(shù)。
目的:在介質(zhì)薄膜(二氧化硅...
目的:在介質(zhì)薄膜(二氧化硅...
3.名詞解釋通道效應(yīng)
參考答案:如果一個(gè)電子以正確的角度進(jìn)入通道,它只需要很少的能量就可以行進(jìn)很長(zhǎng)的距離。
4.名詞解釋合金化熱處理
參考答案:利用熱能使不同原子彼此結(jié)合成化學(xué)鍵而形成金屬合金的一種加熱工藝。
參考答案:被電子占有的幾率為1/2的能級(jí);禁帶中央;電子和空穴數(shù)相等;電子數(shù)多于空穴數(shù);N;空穴數(shù)多于電子數(shù);P
參考答案:立方;金剛石;密勒指數(shù)
7.問答題淀積技術(shù)包括哪兩種?
參考答案:①根據(jù)壓強(qiáng)分:常壓(AP)和低壓(LP)
②根據(jù)反應(yīng)室壁冷熱分:熱壁和冷壁
...
②根據(jù)反應(yīng)室壁冷熱分:熱壁和冷壁
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參考答案:分層分級(jí)設(shè)計(jì)和模塊化設(shè)計(jì)
將一個(gè)復(fù)雜的集成電路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)問題分解為復(fù)雜性較低的設(shè)計(jì)級(jí)別,這個(gè)級(jí)別可以再分解到復(fù)...
將一個(gè)復(fù)雜的集成電路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)問題分解為復(fù)雜性較低的設(shè)計(jì)級(jí)別,這個(gè)級(jí)別可以再分解到復(fù)...
參考答案:溫度低,使用PR遮蔽層(擴(kuò)散硬遮蔽層),非等向性摻雜輪廓,可獨(dú)立控制摻雜濃度和結(jié)深,批量及單晶圓工藝(擴(kuò)散為單晶圓工藝)